(1) Pre-PVD meðferð, þ.mt hreinsun á hlutum og formeðferð.Sérstakar hreinsunaraðferðir fela í sér þvottaefnisþrif, efnahreinsun með leysi, úthljóðsþrif og jónasprengjuþrif.
(2) Settu þau í ofninn, þar með talið þrif og innréttingar í lofttæmi, og uppsetning, gangsetning og tenging á hlutum og innréttingum.
(3) Ryksuga, venjulega dælt upp í 6,6Pa eða meira, opnaðu framhlið dreifingardælunnar fyrr til að viðhalda lofttæmisdælunni og hita dreifingardæluna.Eftir að forhitun er nægjanleg er hálokinn opnaður og dælt í 6 x 10-3 Pa hálfbotna lofttæmi með dreifidælu.
(4) Baka, baka hlutina að æskilegu hitastigi.
(5) Jónasprengjuárás, lofttæmið er yfirleitt 10 Pa til 10-1 Pa, jónasprengjuspennan er neikvæð háspenna 200 V til 1 KV og árásartíminn er 15 mín til 30 mín.
(6) Forbræðsla, stilla strauminn til að forbræða efnið, stilla strauminn til að forbræða málunina og afgasa í 1min ~ 2min.Uppgufunarútfelling.Uppgufunarstraumurinn er stilltur eftir þörfum þar til æskilegur útfellingartími er liðinn.Kæling, hlutirnir eru kældir í ákveðið hitastig í lofttæmishólfinu.
(7) Eftir að hlutirnir hafa verið teknir út er tómarúmshólfinu lokað, lofttæmið er tæmt í l × l0-1Pa og dreifidælan er kæld í leyfilegt hitastig áður en hægt er að slökkva á viðhaldsdælunni og kælivatninu.